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FR-Mic-全自動帶顯微鏡多點測量
Microsense Probe-電容式位移傳感器
FS-1-FilmSense 橢偏儀
Profilm 3D-Filmetrics 3D光學輪廓儀
FSM 500TC-美國FSM 高溫薄膜應力及基底翹曲測試設備
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TDI系列-Herz 氣浮式被動隔振臺
F10-HC-Filmetrics 薄膜厚度測量儀
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Filmetrics F3-sX-硅片厚度測量
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FR-Scanner-自動化高速薄膜厚度測量儀
晶圓缺陷檢測光學系統
Delcom 20J3 STAGE-薄膜電阻測試
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