非接觸式高分辨率近距離位移測量

 
MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）開創了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
MicroSense Probe 電容式位移傳感器特性
1.*非接觸式電容式微位移測量—*準確的電子感應技術, 無損樣品測量
2.*優化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
3.高準確性，高靈敏性測量，*高精度可達0.5nm。
4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響
5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定  位，設備自動聚焦測量(微影設備，原子力顯微鏡，光罩探測，圖像確認，LCD生產設備…)


Gauge 型號

            4800系列            5800系列              6800系列          8800系列        6360厚度測量系統  

4800系列    以至優化的線性和穩定性著稱, 一款多功能測量設備

5800系列    以高動態測量著稱--高分辨率測量，可達100Khz 帶寬測量，可靠性測量甚至達觸
                     地物例如氣動轉子和馬達 
   
6800系列    擁有皮米級別噪聲分辨率 

8800系列    以擁有*好的線性和穩定性系統著稱，測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率，超低
                     噪聲上乘的伺服定位反饋系統設計

Mini系列      迷你壓縮型傳感器測量系統

6360系列      非接觸式，高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度

        
測量探頭(Probe)形狀

                                   
         圓柱型測量探頭       45°傾角測量探頭      矩型測量探頭          直角型測量探頭
 

        
圓柱型測量探頭  探頭直徑0.5mm 到5mm 可選

45°傾角測量探頭  可緊貼圓柱形被測物測量 

矩型測量探頭  測量馬達及軸向轉動物時可提供*大分辨率

直角型測量探頭 用于測量受限空間測量 

設備應用

定位測量系統應用：遠程位置調節器的伺服反饋系統應用 

 間距和位移測量應用 ：空間測量及檢測  軸向位移測量

轉動測量系統應用：馬達精度和轉軸轉動測量  轉軸測量計精度校準測量  直線和平面平臺精

度測量
厚度測量系統應用：磁性介質厚度測量 光盤厚度測量

自動聚焦和歸零測量應用：半導體硅片測量 

振動測量系統應用：樣品臺精度振動測量 轉軸振動精度測量 主動性防震系統反饋測量

設備性能及主要參數

量程  ±25µm 到±1000µm滿量程測量
分辨率  優于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

帶寬 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選