美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

  在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

  1) 快速、非接觸式測量

  2) 128型號適用于3至8寸晶圓

  128L型號適用于12寸晶圓

  128G 型號適用于470 X 370mm樣品，

  另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺

  3) 雙激光自動轉換技術

  如某一波長激光在樣本反射度不足，系統會自動使用

  另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應用

  4) 全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄(可選)

  5) 可加入更多功能滿足研發的需求

  電介質厚度測量

  6) 500 及 900°C高溫型號可選

  7) 樣品上有圖案亦適用

美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規格

  1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

  2) 樣本尺寸:

  FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

  FSM 128G: /大550×650 mm

  3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

  4) 激光強度: 根據樣本反射度自動調節

  5) 激光波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

  6) 薄膜應力范圍: 1 MPa — 4 GPa

  (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

  7) 重復性: 1% (1 sigma)*

  8) 準確度: ≤ 2.5%

  使用20米半徑球面鏡

  9) 設備尺寸及重量:

  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

  電源 : 110V/220V, 20A