同時(shí)測(cè)量反射和透射
以真空鍍膜為設(shè)計(jì)目標(biāo)，KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測(cè)量?jī)x只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。 只需傳統(tǒng)價(jià)格的一小部分，用戶就能進(jìn)行分析、確定 FWHM 并進(jìn)行顏色分析。
可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測(cè)量?jī)x的分析能力。測(cè)量結(jié)果能被快速地導(dǎo)出和打印。
包含的內(nèi)容：
集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 8 軟件
BK7 參考材料
Si 參考材料
防反光板
鏡頭紙
型號(hào)規(guī)格
| 型號(hào) | 厚度范圍 | 波長(zhǎng)范圍 |
| F10-RT | 15nm-70μm | 380-1050nm |
| F10-RT-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
| F10-RT-UVX | 1nm-150μm | 190-1700nm |
| F10-RT-NIR | 100nm-150μm | 950-1700nm |
| F10-RT-EXR | 15nm-150μm | 380-1700nm |
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