自動化薄膜測繪
KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤，樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的，您也可以創造自己的測繪方法，并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。
不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀器是根據波長范圍來加以區分的。 標準的 F50是受歡迎的產品。 一般較短的波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的內容：
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集成光譜儀/光源裝置
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光纖電纜
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4", 6" and 200mm 參考晶圓
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TS-SiO2-4-7200 厚度標準
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BK7 參考材料
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整平濾波器 (用于高反射基板)
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真空泵
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備用燈
型號規格
| 型號 | 厚度范圍 | 波長范圍 |
| F50 | 20nm-70μm | 380-1050nm |
| F50-UV | 5nm-40μm | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20nm-250μm | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5nm-250μm | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4μm-1mm | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7μm-2mm | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10μm-3mm | 1520-1580nm |
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