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KLA Zeta™-388光學輪廓儀提供3D量測和成像功能，與集成防震臺和晶圓操作系統結合，可實現全自動測量。該系統采用ZDot™ 技術...

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全新的KLA Zeta™-Solar光學輪廓儀專為滿足優良金屬化工藝中對于細柵線、接觸墊和主柵線的測量需求而設計。更為優良的3D 成像技術，以及最大...

KLA Zeta™-20光學輪廓儀是一個高度集成的光學輪廓顯微鏡，可在緊湊、耐用的包裝下提供3D量測和成像功能。該系統采用ZDot™ 技...

KLA Filmetrics® Profilm3D® 光學輪廓儀和 Profilm3D-200 光學輪廓儀經濟實惠，是一套非接觸式基于白光干...