只需按下一個(gè)按鈕,您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡(jiǎn)單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows™系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , KLA Filmetrics F20臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)已在世界各地有成千上萬(wàn)的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上,我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用。
擇您的KLA Filmetrics F20臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)主要取決於您需要測(cè)量的薄膜的厚度(確定所需的波長(zhǎng)范圍)
包含的內(nèi)容:
集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 8 軟件
FILMeasure 獨(dú)立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
SS-3 樣品平臺(tái) 及對(duì)應(yīng) 光纖電纜
參考材料
厚度標(biāo)準(zhǔn)
整平濾波器 (用于高反射基板)
備用燈
型號(hào)規(guī)格
型號(hào) | 厚度范圍* | 波長(zhǎng)范圍 |
F20 | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm-250μm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm-250μm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
F3-sX系列 | 10μm-3mm | 960-1580nm |