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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動態范圍 | 3 SCCM 至 150 SLPM（具體視氣體種類與型號而定） |
| 支持氣體 | 各類高純氣體、腐蝕性氣體 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應時間 | ≤1 秒 | 通信接口 | 數字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D） |
| 使用溫度 | 5～50°C | 工作壓力 | 1 ~ 3 bar |
| 接口類型 | 1/4 |
HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款專為高溫環境設計的高溫數字式質量流量控制器（MFC），適用于 15°C 至 120°C 的使用溫度范圍。該系列產品集成了高精度控制、快速響應和高潔凈設計，廣泛應用于半導體、光伏和光纖等行業的高溫氣體流程管理。
高溫適用性：可在 15°C 至 120°C 的環境下穩定運行，滿足苛刻工藝條件。
高精度控制：控制精度高達 ±1.0% of S.P.，確保關鍵工藝中流量穩定可靠。
快速響應性能：響應時間短，提高系統整體效率，適合動態氣體控制需求。
全金屬超潔凈設計：適用于高純氣體和腐蝕性氣體，適配最嚴苛潔凈度要求。
多種通訊協議：支持數字（RS485）與 DeviceNet 通訊（根據型號區分）。
環保合規：通過 RoHS 標準，降低對環境的影響。
| 參數 | 數值 |
| 控制范圍 | 3 SCCM 至 150 SLPM（具體視氣體種類與型號而定） |
| 支持氣體 | 各類高純氣體、腐蝕性氣體 |
| 控制精度 | ±1.0% of Set Point（1~100% F.S.） |
| 重復精度 | ±0.2% of F.S. |
| 響應時間 | ≤1 秒 |
| 通信接口 | 數字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D） |
| 工作壓力 | 1 ~ 3 bar |
| 使用溫度 | 15～120°C |
| 接口類型 | 1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可選 |
| 電源要求 | 24 VDC ±10% |
| 認證標準 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
半導體制造工藝（刻蝕、沉積、擴散等）
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光纖與特種玻璃材料處理
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