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當前位置：曦源科學儀器（上海）有限公司>>在線分析儀器>>質量流量計>> HORIBA SEC-N112/122MGM質量流量控制器
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 | 控制范圍 | 10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選 |
| 通信模式和電源 | 多種可選 | 精度 | +/- 1.0% |
| 響應時間 | 1s | 功能 | 多氣體/多量程 |
SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫藥等領域。該系列支持多種通信協議，具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力，是新一代工藝控制系統的理想選擇。
支持多種通信方式
數字/模擬通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®
高精度流量控制
控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)
重復性好，穩定性高
快速響應性能
響應時間：≤1秒（T98）
可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩定輸出
多氣體/多量程功能
支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設定
降低庫存成本，提高設備通用性和靈活性
高可靠性設計
無運動部件結構，可靠性更高，適合長期穩定運行
緊湊型設計，適配多種系統集成環境
| 規格 | 選擇通信模式 | 選擇電源 |
SEC-N112MG SEC-N122MG SEC-N132MG SEC-N142MG SEC-N172R | 數字通信 ?RS485 F-NET協議 模擬通信 ?0?5VDC | ±15VDC（±5%） HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。 |
SEC-N114MG SEC-N124MG SEC-N134MG SEC-N144MG SEC-N174R | DeviceNet™通信 | 符合ODVA標準 |
SEC-N115MG SEC-N125MG SEC-N135MG SEC-N145MG SEC-N175R | CC-Link®通信 模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合CC-Link®標準24VDC（13至32VDC） |
SEC-N116MG SEC-N126MG SEC-N136MG SEC-N146MG SEC-N176R | PROFIBUS™通信 模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合PROFIBUS™標準24VDC（13至32VDC） |
SEC-N117MG SEC-N127MG SEC-N177R | EtherCAT®通信 | 符合EtherCAT®標準24VDC |
半導體制程設備（如 CVD、Etching、PVD）
光電子器件制造
OLED 面板制程
醫療與生物制藥氣體控制
化學反應過程氣體定量注入
實驗室氣體流量控制系統
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