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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動態(tài)范圍 | 可定制 |
| 支持氣體 | 支持多種氣體及單位（sccm ~ slm） | 控制精度 | ±0.45% S.P. |
| 響應時間 | 小于 100 ms | 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
| 使用溫度 | 15°C ~ 60°C | 工作壓力 | ≤0.5 MPa（參考氣體不同略有差異） |
HORIBA D700T 是一款面向半導體制造領域的壓力不敏感質量流量控制器，采用優(yōu)良的 CRITERION® 壓力式流量測量與控制技術，具備出色的響應速度、壓力不敏感性和高精度控制能力。該產品被廣泛應用于半導體、顯示器、光電子等制造領域的氣體輸送系統(tǒng)中。
超快響應時間
配備新一代控制算法和雙閥門結構，實現了 小于 100 ms 的高速響應，大幅提高了生產效率。
進/出口壓力變化不敏感
補償機制可在工藝過程中壓力波動的情況下維持穩(wěn)定流量，保障工藝一致性。
高重復性與高精度
重復性：≤ ±0.15% F.S.
精度：優(yōu)良可達 ±0.45% S.P.，典型值為 ±0.8% S.P.
故障檢測與自診斷功能
具備優(yōu)良的自診斷能力，實時監(jiān)測并反饋壓力漂移、閥體泄漏等潛在風險。
數字化通信接口
支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工業(yè)協議，方便與上位系統(tǒng)集成。
適應嚴苛工藝環(huán)境
工作溫度范圍：15°C ~ 60°C，適用于各種潔凈室條件。
| 參數 | 數值 |
| 控制范圍 | 可定制 |
| 支持氣體 | 多種氣體 |
| 控制精度 | ±0.8% S.P.（典型），±0.45% S.P.（優(yōu)良） |
| 重復性 | ±0.15% F.S. |
| 響應時間 | ≤ 100 ms |
| 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
| 工作壓力 | 真空至 300 kPa |
| 使用溫度 | 15°C ~ 60°C |
| 接口類型 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
半導體前段工藝（如刻蝕、沉積、離子注入）
顯示面板制造
化學氣相沉積（CVD）
原子層沉積（ALD）
光電子與精密材料工藝
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