HORIBA S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器（MFC）

產(chǎn)品概述

S600系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā)，是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品，適用于半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個(gè)制造領(lǐng)域。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù)，具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力，廣泛應(yīng)用于對(duì)氣體流量控制要求較高的場(chǎng)合。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 寬流量控制范圍
  控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。

• 高控制精度
  控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間小于 1.5 秒，確保控制過(guò)程的高一致性。

• 多種通訊接口
  支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號(hào)輸出，便于系統(tǒng)集成。

• 多供電及密封選項(xiàng)
  支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應(yīng)不同使用環(huán)境。

• 優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與耐久性
  高可靠性設(shè)計(jì)，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境，減少維護(hù)頻次。

技術(shù)規(guī)格