產(chǎn)品型號

1200℃七溫區(qū)獨(dú)立控制管式爐 OTF-1200X-VII （定制）

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 2000mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料， 成都的減少能量的損失。內(nèi)爐 膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

2 、采用分離式的控溫裝置，允許離開爐體進(jìn)行控制。

3 、設(shè)有斷偶和過熱保護(hù)。

4 、可以選擇控溫軟件，將溫控程序和溫度曲線導(dǎo)入到計算機(jī)中。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    8KW（需 40A 的空氣開關(guān)）

2、石英管： 

外徑 Ø50mm ，內(nèi)徑 Ø44mm ，長 1400mm

外徑 Ø60mm ，內(nèi)徑 Ø54mm ，長 1400mm、

外徑 Ø80mm ，內(nèi)徑 Ø74mm ，長 1400mm

外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø94mm ，長 1400mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域： 七溫區(qū)各 115mm

5、恒溫區(qū)域： 711mm  （七溫區(qū)設(shè)置成同一溫度）

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1650mm×1150mm×890mm；重量： 113kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

真空法蘭

1 套

可選配件

1、高溫爐控溫軟件及軟件接口模塊

2、石英管堵

3、數(shù)字真空計

4、真空泵