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開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-12
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高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X
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帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-120
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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GS
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