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產品型號

1200℃立式真空小管式爐 OTF-1200X-S-VT

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下，溫度25℃±15℃ ，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣：如作為CVD 系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 100kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環風冷系統，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時延長使用壽命。

4 、采用 K 型熱電偶進行測溫。

5 、PID 控制器， 可以設置 30 段升降溫程序。

6 、已通過 CE 認證。

技術參數

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    1.2KW

2、石英管： 外徑 Ø25mm ，內徑 Ø20mm ，長 450mm

外徑 Ø50mm ，內徑 Ø44mm ，長 450mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區域： 200mm

5、恒溫區域： 100mm

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 10-2torr （機械泵）， 10-5torr  （分子泵）

產品規格

尺寸： 300mm×340mm×1000mm；重量： 20kg

標準配件

1

石英管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

不銹鋼法蘭

2 個

4

高溫手套

1 雙

可選配件

1、鉸鏈式法蘭

2、防腐型數字式真空顯示計

3 、KF25 轉接頭

4、卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動爐架