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光學鍍膜系統概述：NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統提供先進的技術，在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。

光學鍍膜系統應用

• 光學涂層
• 濺射
• 離子束輔助沉積
• 離子束刻蝕清洗
• 離子束輔助反應刻蝕
• 紅外涂層
• 表面處理

光學鍍膜系統產品特點:

• 射頻偏壓樣品臺
• 膜厚監測儀
• 極限真空5x10-7Torr
• 高精度及高重復性
• 高品質膜層
• 原子級的潔凈表面
• 原子級清洗和拋光
• 通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
• 自動上下載片
• 兩個腔體之間自動傳送
• 菜單驅動，4級密碼訪問保護
• 完整的安全聯鎖
• 占地面積46”D x 44”W

光學鍍膜系統選配項:

• 向下/向上濺射
• 共濺射
• DC，RF以及脈沖電源
• 離子束輔助沉積
• 電子束源
• 等離子源