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光學元件原子級拋光鍍膜設備
  • 光學元件原子級拋光鍍膜設備
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貨物所在地:國外

地: 美國

更新時間:2024-07-24 21:00:06

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光學元件原子級拋光鍍膜設備:NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統提供的技術,在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。

光學元件原子級清洗鍍膜系統

光學元件原子級拋光鍍膜設備概述:NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統提供的技術,在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆,整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用,同時具備各自的自動上/下載片功能。

光學元件原子級拋光鍍膜設備應用

  • Optical Coatings 光學涂層
  • Sputtering  濺射
  • IBAD  IBAD離子束輔助沉積
  • Ion Beam Etching Cleaning  離子束刻蝕清洗
  • Ion Beam Assisted Reactive Etching 離子束輔助反應刻蝕
  • Infrared Coatings  紅外涂層
  • Surface Treatment   表面處理

產品特點:

  • RF Biasable Platen  RF射頻偏壓樣品臺
  • Thickness Monitor   膜厚監測儀
  • 5x10-7 Torr Base Pressure  極限真空5x10-7Torr
  • High Accuracy and Repeatability  高精度及高重復性
  • High Quality Films  高品質膜層
  • Atomic Level Clean Surfaces   原子級的潔凈表面
  • Atomic Cleaning and Polishing  原子級清洗和拋光
  • PC Controlled with LabVIEW  通過LabView軟件實現PC計算機全自動控制
  • Automatic Load/Unload  自動上下載片
  • Automatic Transfer Between Chambers  兩個腔體之間自動傳送
  • Recipe Driven, Password Protected 菜單驅動,4級密碼訪問保護
  • Safety Interlocks 完整的安全聯鎖
  • 46"D x 44"W Footprint  占地面積46"D x 44"W

選配項:

  • Sputter Down/Up  向下/向上濺射
  • Co-Sputtering 共濺射
  • DC, RF and Pulsed Power Supplies  DCRF以及脈沖電源
  • Ion Beam Assisted Deposition 離子束輔助沉積
  • E-Beam Sources 電子束源
  • Plasma Sources 等離子源

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