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NOC-4000雙腔光學(xué)元件鍍膜系統(tǒng)
  • NOC-4000雙腔光學(xué)元件鍍膜系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2024-07-24 21:00:06

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NOC-4000雙腔光學(xué)元件鍍膜系統(tǒng):NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供的技術(shù),在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆,整個(gè)過(guò)程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用,同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。

光學(xué)元件原子級(jí)清洗鍍膜系統(tǒng)

NOC-4000雙腔光學(xué)元件鍍膜系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NOC-4000光學(xué)涂覆系統(tǒng)提供的技術(shù),在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆,整個(gè)過(guò)程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用,同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。

NOC-4000雙腔光學(xué)元件鍍膜系統(tǒng)應(yīng)用

  • Optical Coatings 光學(xué)涂層
  • Sputtering  濺射
  • IBAD  IBAD離子束輔助沉積
  • Ion Beam Etching Cleaning  離子束刻蝕清洗
  • Ion Beam Assisted Reactive Etching 離子束輔助反應(yīng)刻蝕
  • Infrared Coatings  紅外涂層
  • Surface Treatment   表面處理

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • RF Biasable Platen  RF射頻偏壓樣品臺(tái)
  • Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測(cè)儀
  • 5x10-7 Torr Base Pressure  極限真空5x10-7Torr
  • High Accuracy and Repeatability  高精度及高重復(fù)性
  • High Quality Films  高品質(zhì)膜層
  • Atomic Level Clean Surfaces   原子級(jí)的潔凈表面
  • Atomic Cleaning and Polishing  原子級(jí)清洗和拋光
  • PC Controlled with LabVIEW  通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • Automatic Load/Unload  自動(dòng)上下載片
  • Automatic Transfer Between Chambers  兩個(gè)腔體之間自動(dòng)傳送
  • Recipe Driven, Password Protected 菜單驅(qū)動(dòng),4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)
  • Safety Interlocks 完整的安全聯(lián)鎖
  • 46"D x 44"W Footprint  占地面積46"D x 44"W

選配項(xiàng):

  • Sputter Down/Up  向下/向上濺射
  • Co-Sputtering 共濺射
  • DC, RF and Pulsed Power Supplies  DCRF以及脈沖電源
  • Ion Beam Assisted Deposition 離子束輔助沉積
  • E-Beam Sources 電子束源
  • Plasma Sources 等離子源


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