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檢測系統: 飛行時間二次離子質譜儀 TOF-MS飛行時間質譜儀

刻蝕系統: RIE反應離子刻蝕系統 ICP及DRIE刻蝕系統 IBE離子束刻蝕系統 RIE-PE刻蝕機

沉積系統: 進口光學鍍膜機 TE熱蒸發鍍膜系統 E-Beam電子束蒸發系統磁控濺射系統 PECVD等離子化學氣相沉積系統 PLD脈沖激光沉積

生長系統: MOCVD設備 ALD原子層沉積系統 MOVPE設備

清洗去膠系統: 等離子去膠清洗及灰化系統單晶圓/掩模版兆聲清洗機大基片清洗/去膠/濕法刻蝕 MW微波等離子清洗去膠系統離子束清洗系統研發用等離子去膠機

熱真空試驗系統: 熱真空試驗箱熱真空環境模擬試驗設備空間環境模擬試驗設備熱真空系統

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