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  • NIE-3500(M)離子束清洗系統

    NIE-3500(M)離子束清洗系統:是一款手動放片/取片,但工藝過程為全自動計算機控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統,可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。

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  • NIE-3000離子束清洗系統

    NIE-3000離子束清洗系統:是一款手動放片/取片,但工藝過程為全自動計算機控制的臺式離子束刻蝕系統,可以用于表面清洗、表面處理、離子銑等。

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  • LSC-5000全自動兆聲大基片濕法去膠系統

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  • LSC-4000兆聲大基片濕法去膠清洗系統

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  • SWC-3000兆聲輔助光刻膠剝離系統

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