1.無油干式機械真空泵：是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他工作介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
2.水環真空泵：水環真空泵內裝有帶固定葉片的偏心轉子，是將水（液體）拋向定子壁，水（液）成與定子同心的液環，液環與轉子葉片一起構成可變容積的一種旋轉變容積真空泵。
3.羅茨真空泵：是指泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的葉形轉子，轉子間、轉子與泵殼內壁間有細小間隙而互不接觸的一種變容真空泵。
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