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目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>光學測量系列>>探針臺>> FPMIC-SPS-2000進口分析探針臺

進口分析探針臺
  • 進口分析探針臺
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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FPMIC-SPS-2000
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2024-09-02 16:38:23瀏覽次數:734評價

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這款手動型分析探針臺廣泛用作晶圓探針臺和RF探針臺,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件測試和晶圓探針臺測試應用。

這款手動型分析探針臺廣泛用作晶圓探針臺和RF探針臺,性價比高,配置靈活多樣,具有加熱型晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合實驗室半導體器件測試和晶圓探針臺測試應用。
手動型分析探針臺特色

手動操作樣品臺,行程范圍100mm x 100mm

加載或卸載晶圓非常方便

傳統的粗調和微調臺板設計,范圍12.7mm, 25mm或40mm可選

光滑的磁鐵臺板可支撐高達10個磁性或真空定位器

高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, LED照明,放大倍數3.5X~180X

帶有相機接口

兩側帶有連接接口,適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

標準的XYZ三維位移臺顯微鏡

可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件


進口分析探針臺
手動型分析探針臺規格參數

適合晶圓大小:最高100mm

手動XY位移臺: 行程范圍100mm x 100mm, 分辨率5um

臺板行程:12.7mm 或更大,

臺板調整:帶有粗調和微調功能,重復精度+/-1.5um

臺板平面度:<+/-12.7um @150mm長度

臺板剛度:<5um @4.5kg

樣品夾盤規格

真空:多區真空

平面度:+/-13um

擊穿電壓:500V

隔離度:1G歐姆

調整:360度粗調, +/-6度微調

顯微鏡:高質量體式放大顯微鏡,工作距離高達200mm, 放大倍數范圍3.5X~180X

電學接頭:BNC, Triax, RF, Banana插頭

安裝要求:真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺)

整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

凈重:85kg ~95kg (根據所選不同配件)

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