目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>探針臺>> FPMIC-CPS-HT進口高溫探針臺
這款高溫探針臺是為高溫環境器件測試或真空環境或氣體環境器件探針臺分析測試而設計。手動高溫探針臺可測試50mm x 50mm的晶圓樣品，電控或半自動高溫探針臺可測試100mm或更大尺寸晶圓樣品。
高溫探針臺在真空環境下可測量溫度環境高達700攝氏度,在非真空環境下可測650攝氏度。
高溫探針臺特點
具有手動，半自動或電控探針臺配置方案
探針臂可配備額外手動微操作器，方便微納操作
可配備空氣或液氮制冷的熱晶圓夾盤
標配7:1X放大透鏡管，分辨率可達4微米
可選配12.5:1或16:1X放大透鏡管
有效振動隔離
快速制冷和加熱選項
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