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目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>光學精密機械類>>精密位移臺>> FPSMAR-P-SLL六維并聯微動平臺

六維并聯微動平臺
  • 六維并聯微動平臺
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FPSMAR-P-SLL
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2024-07-19 11:17:16瀏覽次數:771評價

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六維并聯微動平臺P-SLL采用德國六自由度并聯機器人hexapod提供六軸并聯動力學微動平臺功能,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。

六維并聯微動平臺P-SLL采用德國六自由度并聯機器人hexapod提供六軸并聯動力學微動平臺功能,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。

六維并聯微動平臺P-SLL采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六維并聯微動平臺
六維并聯微動平臺P-SLL
規格參數分辨率<1nm
大負載:1000g (10N)
大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造(根據用戶要求)
大垂直載荷Fv:10N

大水平力Fh:5N

定位器尺寸:> 250 x 80 x 67 mm3

重量:≈ 300 ~2000 g

行程范圍:

x- 20 ~ 1200 mm

y -45~119 mm

z - 16 mm
Θx:≤42 °
Θy:≤ 33°
Θz:≤42 °

帶納米傳感器-S閉環

小增量(x,y,z):1nm

小增量(Θx,Θy,Θz):1urad

重復精度(xyz全行程):±200 nm

重復精度(Θxyz全行程):±10urad

重復精度(1mm行程@xyz):±15 nm

材料和真空可選項目

納米級距離編碼傳感器

非磁性材料(NM)
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六軸并聯定位平臺應用案例
六維并聯微動平臺


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