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Hybrid Hexapod六軸平臺采用ALIO六軸定位臺Hexapod器件,采用與傳統(tǒng)6自由度（6-DOF）定位臺不同的方法，以競爭力的價格展示了更高的性能。
Hybrid Hexapod六軸平臺結(jié)合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)θ-Z軸，而不是6個獨立支腿（和12個連接接頭），以提供整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足運動學過時，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍（幾乎不受限制的XY行程）以及可編程的刀具中心點位置方面有了幾個數(shù)量級的改進。
Hybrid Hexapod六軸平臺具有小于100 nm的三維6軸點精度®可重復性，使其成為激光加工、光學檢測、光子學、半導體、計量學和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目中關(guān)鍵任務應用的關(guān)鍵技術(shù)。
傳統(tǒng)的六足機器人無法達到亞微米精度，因為它們需要精確協(xié)調(diào)所有六個軸的運動，以完成運動輪廓，即使這一要求僅適用于簡單的單軸運動。此外，盡管人們普遍認為，與串聯(lián)堆疊的多軸系統(tǒng)相比，Hexapod六軸平臺表現(xiàn)出良好的剛度，但這實際上僅限于垂直“z"軸，而在“xy"平面上則存在弱點。
Hybrid Hexapod六軸平臺Angulares
Angulares Hybrid Hexapod®的60度傾斜/傾斜行程是目前市場上任何6自由度（6-DOF）定位器所能提供的最大角度行程范圍，并提供與ALIO的所有Hybrid Hexapod系統(tǒng)相同的定位性能。它非常適合于非球面和自由曲面光學計量、硅光電子封裝和探測、激光微處理（非平面基板和錐度控制）、晶圓計量、相機模塊對準和組裝、傳感器/圖像穩(wěn)定測試、光學元件和光纖對準等應用。
Hybrid Hexapod六軸平臺Angulares具有精密交叉滾柱軸承導軌、所有軸上的光學增量或絕對編碼器反饋、直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器、無限可編程刀具中心點位置和坐標偏移，以及所有軸上的零齒隙。該設(shè)計使角度最大的M能夠無限的XY行程，Z行程為62毫米，使用其他三腳架模型可以增加到208毫米，傾斜/傾斜行程為60度（+/-30度），連續(xù)360度θ-Z，XYZ雙向重復性小于+/-0.6弧秒，速度高達100毫米/秒XY和Z，小于10納米的線性和0.1弧秒的角度最小增量運動。