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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

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[供應(yīng)]KOSAKA - ET4000-臺(tái)階儀返回列表頁

貨物所在地：廣東東莞市

產(chǎn)地：日本

更新時(shí)間：2024-11-30 21:00:07

有效期：2024年11月30日 -- 2025年5月30日

已獲點(diǎn)擊：62

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產(chǎn)品分類品牌

EVG光刻機(jī): 掩模對準(zhǔn)曝光機(jī) 光刻膠處理系統(tǒng)

EVG鍵合機(jī): 對準(zhǔn)設(shè)備晶圓鍵合機(jī) 直接鍵合設(shè)備臨時(shí)鍵合/解鍵合金屬鍵合設(shè)備

晶圓關(guān)鍵尺寸測量

EVG納米壓印機(jī): UV-NIL/SmartNIL紫外壓印納米壓印母版制作系統(tǒng)

膜厚儀: Thetametrisis膜厚儀光學(xué)相干斷層掃描全自動(dòng)同質(zhì)膜厚測量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺(tái): Herz TDI氣浮式被動(dòng)防震臺(tái) Herz AVI系列主動(dòng)防震臺(tái) Herz 電鏡隔振臺(tái) DAEIL DVIA-T主動(dòng)防振臺(tái) Stefan Mayer主動(dòng)消磁系統(tǒng)

晶圓厚度測量: 硅片厚度測量儀半自動(dòng)晶圓厚度測量

應(yīng)力測量: FSM應(yīng)力儀 ilis應(yīng)力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀: 白光干涉儀彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀白光干涉+共聚焦一體機(jī) 晶圓形貌和參數(shù)檢測

光學(xué)鏡頭對準(zhǔn)系統(tǒng)(定心儀)

片電阻測量儀: 薄膜電阻測量儀

晶圓缺陷檢測: 全自動(dòng)AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

等離子去膠: 微波等離子清洗

橢偏儀: FilmSense 橢偏儀

臺(tái)階儀

4D 動(dòng)態(tài)激光干涉儀: PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學(xué)粗糙度測試儀

電容式位移傳感器: Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測設(shè)備

全自動(dòng)測量機(jī)臺(tái)

全部產(chǎn)品列表

供應(yīng)簡介

高精度臺(tái)階儀ET4000系列
理想的高性能通微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000M
多功能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000A
多目的?多功能的全自動(dòng)二次元?三次元微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000AK
對于大尺寸也能對應(yīng)的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī) ET4000L
可對應(yīng)12英寸全行程連續(xù)測定全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī) ET4300

詳情介紹

探針測量是通過監(jiān)測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。

KOSAKA 臺(tái)階儀（探針臺(tái)）具有以下特點(diǎn)：

二維／三維表面粗度解析及臺(tái)階測定，可實(shí)現(xiàn)高精度、高辨識(shí)能力及*的安全性。

用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細(xì)形狀臺(tái)階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測定。

具備載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能，便于定位下針位置。

高精度 • 高穩(wěn)定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盤等

微細(xì)形狀、段差、粗糙度等測量。