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1、簡述
FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀（膜厚儀），可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內的涂層。
FR-InLine 在線薄膜厚度測量儀(膜厚儀)并可以依據各種不同應用設置多個參數的實時測量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標。
FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執行。
2、產品應用
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透明和半透明涂層
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眼鏡上的涂層
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食品工業
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光學薄膜
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包裝
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粘合劑
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聚合物
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可撓式電子和顯示器
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其他各種工業……
（聯系我們了解您的應用需求）
3、產品特征
FR-InLine 膜厚儀提供半寬（蕞多 4 通道）和全寬（蕞多 8 通道）3U 機架安裝機箱，可實時測量涂層的薄膜厚度。 FR-InLine 通過標準I/控制埠為啟動/停止/復位功能提供外部觸發選項。測量數據可立即供其他軟件使用，以進一步調整生產流程。工程師可以輕易完成安裝。
4、附件
FR-InLine 附帶多個附件，例如：
§TCP/IP 通信
§支持任何特定需求長度和配置的反射探頭和光纖
§光學模塊（例如聚焦透鏡、運動支架），以協助探頭安裝在產線上
5、其他特點
提升流程運行時間和產品質量
減少原材料消耗和成本控制
6、FR-InLine 規格（標準配置）
| Model | UV/Vis | UV/NIR-EXT | VIS/NIR | NIR | NIR-N1 |
| WLRange–nm波長 | 200–850 | 200–1020 | 370–1020 | 900–1700 | 850-1050 |
| Pixels像素 | 3648 | 3648 | 3648 | 512 | 3648 |
| ThicknessRange*1 | 3nm-80um | 3nm-90um | 15nm-90um | 200um | 1um-400um |
| n&k-MinThick | 50nm | 50nm | 100nm | 500nm | |
| Thick.Accuracy*2 | 1nm/0.2% | 1nm/0.2% | 1nm/0.2% | 3nm/0.4% | 50nm/0.2% |
| Thick.Precision*3,4 | 0.02nm | 0.02nm | 0.02nm | 0.1nm | |
| Thick.stability*5 | 0.05nm | 0.05nm | 0.05nm | 0.15nm | |
| LightSource | ExternalDeuterium&Halogen,2000h | Halogen(internal)3000h(MTBF) | |||
| IntegrationTime | 5msec(min) | 5msec(min) | |||
| Spotsize | Diameterof350um(smallerspotsizeoptionsareavailableuponrequest) | ||||
| MaterialDatabase | >700differentmaterials | ||||
| Connectivity | USBorTCP/IP | ||||
| Power | 100-240V50-60Hz | ||||
注：
*1、規格如有變更，恕不另行通知
*2、與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結果匹配
*3、超過15天平均值的標準偏差平均值，樣品:硅晶片上1微米Si2
*4、標準偏差100次厚度測量結果，樣品:硅晶片上1微米Si2,
*5、15天內每日平均值的2*標準差。樣品:硅片上1微米Si2。
