EVG光刻機

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EVG鍵合機

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晶圓關鍵尺寸測量

EVG納米壓印機

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膜厚儀

Thetametrisis膜厚儀 光學相干斷層掃描 全自動同質膜厚測量系統 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺

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晶圓厚度測量

硅片厚度測量儀 半自動晶圓厚度測量

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白光干涉儀 彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學輪廓儀 白光干涉+共聚焦一體機 晶圓形貌和參數檢測

光學鏡頭對準系統(定心儀)

片電阻測量儀

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晶圓缺陷檢測

全自動AOI系統 雙2D AOI系統 LAZIN

等離子去膠

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4D 動態激光干涉儀

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光學粗糙度測試儀

電容式位移傳感器

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磁性材料檢測設備

全自動測量機臺

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