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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3252L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3252L
質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業設備。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。
核心技術架構
傳感系統：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計，溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
科里奧利式：直接質量測量，精度可達±0.1%讀數
控制系統：
24位Σ-Δ ADC轉換器
數字PID算法（響應時間<100ms）
支持Modbus RTU/Profibus DP通訊協議
閥體系統：
壓電瓷閥（響應時間<10ms）
電磁比例閥（壽命>10?次循環）
金屬密封閥座（耐壓10MPa）
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
技術發展趨勢
智能化升級：
集成AI預測性維護功能
5G遠程監控與參數優化
微型化發展：
MEMS流量傳感器（芯片級集成）
適用于便攜式分析儀器
綠色制造：
無鉛焊接工藝
可再生材料應用
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