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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3202L-TC
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3202L-TC
質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業設備。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
3. 制藥行業：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯控）
凍干機惰性氣體保護（露點控制<-70℃）
無菌灌裝環境控制（ISO 5級潔凈度）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
質譜儀載氣調節（0.1-10mL/min微流量）
環境模擬實驗（溫濕度聯動控制）
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 | |
| Low | 80～100℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%F.S. | 2~100%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
技術發展趨勢
智能化升級：
集成AI預測性維護功能
5G遠程監控與參數優化
微型化發展：
MEMS流量傳感器（芯片級集成）
適用于便攜式分析儀器
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