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參考價: | ¥ 25050 |
訂貨量: | 1件 |
- MC-5200C 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):38更新時間:2025-03-26 15:04:03
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
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質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5200C
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5200C
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制,故不受溫度及壓力的影響,可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質流傳感器,由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調節(jié)控制閥的開度,以此進行流量的控制。
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU),下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的,Ru、Rd與 R 保持一定的溫度,當氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,造成溫度下降,為維持原本與比的溫差,回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | F.S. | 馬克斯 FS | 密封 |
15~35°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%滿量程 | 10單片機CM | 300 升 | 金 |
氣體隔膜隔離閩體及驅動裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設計,可以增強氣體的流通,降低污染物影響,使設備具備高澄換性,保證更長的使用壽命,也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。