MSD-150D主要應用于曝光后的顯影工藝。該設備主要由顯影腔單元、自動擺臂單元、 以及供液系統、主軸系統、控制系統及排液系統等組成，整機采用框架結構，外表為鏡面不銹鋼，無塵且不吸附顆粒，工作方式為手動上下片，自動完成顯影工藝。
顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進口伺服電機，保證轉速、加速度、控制精度高，重復性好；供液系統采用廠務或者壓力容器直接供液方式。