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日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
- OTSUKA/日本大塚 品牌
- 代理商 廠(chǎng)商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)：43更新時(shí)間：2025-02-22 10:41:21
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
用顯微微分光膜厚計(jì)OPTM series的高精度、微小光點(diǎn)，在線(xiàn)提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測(cè)量等膜厚信息。...
產(chǎn)品介紹
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
OPTM series 嵌入型
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 膜厚測(cè)量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
● 膜厚值高重復(fù)精度
● 1點(diǎn)1秒以?xún)?nèi)的高速測(cè)量
● 最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
● 適合圖案晶片的膜厚映射
● 能夠取得圖案對(duì)準(zhǔn)用圖像
裝置組裝示意圖
測(cè)量數(shù)據(jù)示意圖
測(cè)量光點(diǎn)周邊圖像
適應(yīng)過(guò)程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
產(chǎn)品規(guī)格
核心對(duì)比與OPTM優(yōu)勢(shì)：
技術(shù)差異化：
OPTM系列：基于分光干涉法，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)，技術(shù)解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測(cè)量，但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列。
應(yīng)用場(chǎng)景：
OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線(xiàn)快速抽檢。
性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門(mén)檻更低，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性。
微區(qū)測(cè)量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動(dòng)XY平臺(tái)（200×200mm），實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等
微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性：專(zhuān)為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì)，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測(cè)量頭支持定制化嵌入，滿(mǎn)足在線(xiàn)檢測(cè)（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
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