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Thermo Scientific 循環(huán)冷卻器、水- 水熱交換器和用戶定制解決方案
 

      無論是光刻、注入、刻蝕、沉積、拋光、封裝還是半導(dǎo)體測試，Thermo Scientific™循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。憑借在半導(dǎo)體行業(yè)30 多年的溫度控制專業(yè)技術(shù)，我們提供標準產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及化服務(wù)，有助于滿足您從光刻到最終測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

 

1 上述參數(shù)是在海平面高度用水作為循環(huán)流體，在過程設(shè)定點為+20℃，環(huán)境條件為+25℃及標稱工作電壓下得出的。制冷能力基于帶P2泵的冷卻器，無背壓。規(guī)格如有變更，恕不另行通知。多種泵可選；其他泵會影響制冷性能。
2 上述參數(shù)是在海平面高度用乙二醇和水（比例為50/50）的混合物作為循環(huán)液體，在過程設(shè)定點為20℃，環(huán)境條件為+20℃及標稱工作電壓下得出的。其他液體、流程溫度、環(huán)境溫度、海拔高度或工作電壓都會影響性能。規(guī)格如有變更，恕不另行通知。制冷能力基于帶PD1泵的裝置，無背壓。其他泵會影響制冷性能。
3 上述參數(shù)是在用水作為循環(huán)液體，在水設(shè)備的過程溫度為10℃下得出的。不同的水設(shè)備溫度會導(dǎo)致不同的冷卻能力。規(guī)格如有變更，恕不另行通知。
4 在不同國家和地區(qū)使用時，應(yīng)選擇合適頻率和電壓。
5 上述參數(shù)是在海平面高度用水作為循環(huán)液體，在過程設(shè)定點為20℃，環(huán)境條件為+20℃及標稱工作電壓下得出的。其他液體、流程溫度、環(huán)境溫度、海拔高度或工作電壓都會影響性能。
 

產(chǎn)品特色

? 根據(jù)具體用途，設(shè)計的溫度控制解決方案       ? 專業(yè)溫度穩(wěn)定技術(shù)：可達+/- 0.001 ℃
? 使用不銹鋼材料，減少腐蝕                     ? 波動低

? 噪音低                                                                    ? 擁有使用 HFE（氟化）特殊流體的經(jīng)驗
? 符合半導(dǎo)體合規(guī)性，包括：                             ? SEMI S2/S8/S14/F47                  

? CSA/UL                                                                  ? CE                               
? RoHS                                                                      ? WEEE

 

為您的投資保駕護航

您的進程取決于具有穩(wěn)定可靠，始終如一性能的產(chǎn)品。從啟動和檢查到完整的清潔維護，我們提供完整的服務(wù)解決方案來滿足您的需求，由工廠進行修理和維護。

Thermo Fisher 的溫控產(chǎn)品遍布
我們擁有服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，我們的直屬和服務(wù)專業(yè)人才遍布世界，為客戶提供支持：
? 地區(qū)呼叫中心
? 地區(qū)服務(wù)中心
? 地區(qū)經(jīng)銷商網(wǎng)絡(luò)

Thermo Fisher 支持的產(chǎn)品包括：
? Steelhead            ? Endura SYS III                    ? DIMax、DIMax II
? HTD                     ? ThermoChill 系統(tǒng)               ? MX500/900
? HX 150/300          ? CFT                                   ? ThermoFlex
? SWX                                                                 ? 所有Neslab 品牌