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真空機組GZK-1012
雙級旋片式真空泵VRD系列2
高真空系統GZK-103D3
德國小型渦輪分子泵EQ-PV-HVS2
AP-1400V無油真空泵
進口無油真空泵(226Lmin)ACP152
系列高功率數控超聲波清洗機
VGT-1620TD超聲波清洗機
VGT-1620QTD超聲波清洗機4
生長納米線CVD爐OTF-1200X-4-NW
快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV
開啟式單溫區低真空CVD系統OTF-1200X-F3LV
高真空三溫區CVD系統OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV
高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV
帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-1200X-5-III-F3LV
1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-4-C2HV
1700℃單溫區三通道混氣CVD系統GSL-1700X-F3LV
1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統OTF-1200X-4-C4LV
4路質子混氣管式PECVD系統
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