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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。 本機(jī)可用于強(qiáng) 酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空， 工作時(shí)利用真空盤吸附的 方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲(chǔ)存 12 組程序，每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn) 數(shù)不同， 使設(shè)備緩慢提升速度限速度， 有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜， 且不會(huì)過多浪費(fèi)， 節(jié)約 材料。 腔室的上蓋可以對(duì)樣品進(jìn)行加熱（可選功能） ，有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進(jìn)行。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點(diǎn)，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所 的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。
產(chǎn)品名稱 | VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-200P | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 | |
1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 | ||
2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
3、氣：不需要 | ||
4、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 | ||
5、通風(fēng)裝置：需要 | ||
主要特點(diǎn) |
時(shí)間范圍： 0—60s。 |
2、真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。 3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 | |
4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單。 6 、電機(jī)采用 24V 直流無刷電機(jī)，無級(jí)調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強(qiáng)，維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單，噪音低， 震動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動(dòng)快速穩(wěn)定，加速后運(yùn)行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用，但控制部分與真空泵需置于箱外。 8 、可在惰性氣體氣氛（如 Ar 、N2 ）下進(jìn)行涂層。 | |
9、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。 12、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止 13、控制器采用單控制箱，液晶顯示數(shù)值，更直觀可靠。
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技術(shù)參數(shù) | 1、電源： 220V 50HZ 2、電機(jī)功率： 350W/24V 3、轉(zhuǎn)速： 500rpm-6000rpm 之間可調(diào) 4.可儲(chǔ)存 12 組程序， 每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段， 5、每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時(shí)間范圍： 0-60s 6、吸盤規(guī)格φ 100mm 7、本機(jī)可選配加熱功能： 加溫范圍 RT-99% |
加熱蓋，水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì) 溫度單獨(dú)控制，與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián) | |||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：φ250mm×360mm；重量： 20kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | φ100mm 真空吸盤
| 1 個(gè) |
2 | O 型膠圈 | 1 個(gè) | |
3 | 滴液器
| 1 個(gè) | |
4 | 滴液器支架 | 1 個(gè) | |
中心定位器 | |||
5 |
| 1 個(gè) | |
6 | 無油真空泵
| 1 臺(tái) | |
可選配件 | 進(jìn)口移液器
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國產(chǎn)移液槍 | |
其它尺寸的真空吸盤
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