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產品簡介
SE-i光譜橢偏儀產品簡介：光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化開發，快速實現光學薄膜原位表征分析
詳細介紹
SE-i 光譜橢偏儀
產品簡介： 光譜橢偏儀 SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究 的需要開發的原位薄膜在線監測中的定制化開發，快速實現光學薄膜原位表征分析。光譜橢 偏儀廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積， ALD 沉積等光學薄 膜工藝過程中實際原位在線監測并實時反饋測量物性數據。
產品型號 | SE-i 光譜橢偏儀 |
技術參數 | 1、自動化程度：固定變角 2、應用定位：原位定制型 3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S 等光譜 4、分析光譜： 380-1000nm，支持按需定制化 5、單次測量時間： 0.5-5s 6、重復性測量精度： 0.01nm 7、入射角范圍： 65°（支持定制） |