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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： 多路質量流量供氣系統是用于控制一種到多種的氣體流經真空密封的管式爐， 這種氣體控制系 統安裝在移動架內， 管式爐可以放在移動架上面， 氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節 閥，可以用于 CVD 系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響，在半導體和集成電路工業、特種材料 學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用， 廣泛應用于 電子工藝設備， 如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設備、光纖熔煉、混氣配氣系統及其它 分析儀器。
產品型號 | 混氣系統 2 路質子 GSL-2Z 、混氣系統 3 路質子 GSL-3Z 、混氣系統 4 路質子 GSL-4Z |
主要特點 | 精度高，運行穩定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。 |
技術參數 | 1、電源： 185-245V 50Hz 2、輸出功率： 18W 3、控制范圍： GSL-2Z 控制器 1——1-199SCCM 、控制器 2——1-499SCCM GSL-3Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-499SCCM |
GSL-4Z 控 制 器 1——0-100SCCM 、 控 制 器 2——1-199SCCM 、 控 制 器 3——1-199SCCM 、控制器 4——1-499SCCM 4、壓力： 3×106 Pa 5、準確度：± 1%FS 6、線性：±0.5-1.5% 7、重復精度：±0.2%FS 8、響應時間： 氣特性 1-4s ，電特性 10s 針閥： 316 不銹鋼 9、工作壓差范圍： 0.1-0.5 MPa |
10、壓力表測量范圍： -0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） | |
11、混氣罐： ?80mm×120mm | |
12、截止閥： ?1/4″ ，316 不銹鋼針閥 | |
13、工作溫度： 5-45℃ | |
產品規格 | 尺寸： 600mm×600mm×650mm |