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產品型號

1200℃雙管滑動式四通道混氣 CVD 系統 OTF-1200X-4-C4LV

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、采用高純氧化鋁保溫材料，保證了的溫度均勻性。

2 、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。

3 、采用 PID 控制器 ，可以設置 30 段升降溫程序。

4、金屬箔纏繞在內管的外表面上發生 CVD 反應。

5、采用雙管真空密封法蘭，允許反應氣體通過兩管之間（ 10mm 間隙）。

6、冷卻氣體直接通入內管。

7 、配有帶 KF25 快接和波紋管的高速機械泵。

8、爐底部裝有滑軌，爐體可從一端滑向另一端， 從而實現快速升溫和降溫。為了獲得較快的 加熱速度， 可以先將爐體預熱， 然后滑至放置樣品處； 為了獲得較快的冷卻速度， 可將爐 體滑至另一端，同時將冷氣通入樣品所在處。

9、密封法蘭系統采用不銹鋼制作。

10 、已通過 CE 認證。

技術參數

管式爐

1 、電源： 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    2.5KW （20A 保險絲）

2、石英管： 外管外徑 ?100mm ，內徑 ?96mm ，長 1400mm

內管外徑 ?80mm ，內徑 ?75mm ，長 1400mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區域： 440mm

5、恒溫區域： 120mm （± 1℃在 400℃-1100℃）

6 、工作溫度：  1100℃ ，連續工作 1000℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 10-3torr （機械泵）， 10-5torr  （分子泵）

質量流量混氣系統

1、質子流量計： 4 路精密質子流量計，數字顯示，氣體流量自動控制

MFC1 范圍 0-100sccm，MFC2 范圍 0-200sccm，MFC3 范圍 0-200sccm，MFC1 范圍 0-500sccm

2、流量精度： 0.2%

3、氣路： 4 路（每個氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制）

4、進出氣口： 1/4"卡套

5、混氣罐： 1 個

產品規格

尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，移動架 600mm×600mm×597mm

重量： 135kg

可選配件

1、分子泵

2、雙溫區管式爐

3、銅箔（生長石墨烯 150mm×150mm×25µm）