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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理， 結(jié)合的頻率測(cè)量技術(shù)， 進(jìn)行膜厚的在線 監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于 MBE 、OLED 熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中，用于對(duì)膜層厚度及鍍膜速率 進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時(shí)速率可以輸出 PWM （脈沖寬度調(diào)制） 模擬量， 作為膜厚傳感器使用， 與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制，從而檢測(cè)所制備薄膜的厚度。 EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間， 原理簡(jiǎn)單， 操作方便， 尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備 過(guò)程的使用。
產(chǎn)品名稱 | EQ-TM106 膜厚監(jiān)測(cè)儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | EQ-TM106 |
主要特點(diǎn) | 1 、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 2、顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、 頻率、 PWM 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 3、通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù) 等進(jìn)行設(shè)置， 并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫入 Excel 文件。 4、具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。 |
技術(shù)參數(shù) | EQ-TM106-1 監(jiān)測(cè)組件 1、電源： DC 5V（±10%），電流 400mA 2、頻率分辨率： ±0.03Hz 3、膜厚分辨率： 0.0136? （鋁） |
4、膜厚準(zhǔn)確度： ±0.5%，取決于過(guò)程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度 5、測(cè)量速度： 100ms-1s/次，可設(shè)置 6、測(cè)量范圍： 500000? （鋁） 7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體： 6MHz 8 、計(jì)算機(jī)接口： RS-232/485 串行接口（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可 設(shè)置，數(shù)據(jù)位： 8，停止位： 1，校驗(yàn)：無(wú)） 9、模擬輸出： 8 比特分辨率， PWM 脈寬調(diào)制輸出（集電極開(kāi)路或內(nèi)部 5V 輸出） 10、工作環(huán)境： 溫度 0-50℃， 濕度 5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸： 90mm×50mm×18mm | |
EQ-TM106-2 顯示儀 1、輸入電源： AC 220V±10% 2、輸出電源： DC 5V 3A | |
3、顯示器： 12×2 數(shù)碼管與 LED 4、通訊端口： RS-485（波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可設(shè)置，數(shù)據(jù)位： 8 位，停止位： 1 位，奇偶校驗(yàn)：無(wú)） 5、外形尺寸： 182mm×65mm×160mm | |
EQ-TM106-3 探頭 1、適用晶片頻率： 6MHz | |
2、適用晶片尺寸： ?14mm 3、安裝法蘭： CF35 4、冷卻水管： ?3mm ，長(zhǎng)度 300mm 、500mm 、1000mm 5、冷卻水壓： <0.3MPa 6、氣動(dòng)擋板路管： ?3mm 7、壓縮空氣壓力： <0.8MPa ，>0.5MPa |
8、烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃ 9、電氣接口： BCN 插座 | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | EQ-TM106-1 監(jiān)測(cè)組件 | 1 個(gè) |
2 | EQ-TM106-2 顯示儀 | 1 臺(tái) | |
3 | EQ-TM106-3 探頭 | 1 個(gè) | |