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產品簡介
詳細介紹
產品簡介： GSL-LCD 是一款多路質量流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里， 移動柜可以承重 1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上 以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示都集中在一 6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛的用于材料界中CVD 實驗和各種材料的退火實驗。
| 產品型號 | GSL-LCD(控制面板為觸摸屏） | ||||
| 技術參數 | 功能 | 雙通道 | 三通道 | 四通道 | 五通道 |
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| 質 子 流 量 控 制 器 | 工作溫度： 5~45ºC 壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重 復 精 度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費用 | 工作溫度： 5~45 ºC 壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費用 | 工作溫度: 5~45 ºC 壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線 性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重 復 精 度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意： 其他流量范圍的 可定制，需額外費用 | 工作溫度: 5~45 ºC 壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求 定制 |
| 產品規格 | 外形尺寸： 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
| 輸入電源 | AC 220V/50Hz 單相 |
| 功 率 | 23W |
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| 各通道的氣路設定和查看都集中在一 6"的觸摸屏上
RS485 通訊接口和 PC 控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制 |
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PLC 觸摸屏 |
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| 機械壓力表 | 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
| 針 閥 | 316 不銹鋼 |
| 通氣管道 | 內部連接管道為 1/4”不銹鋼管 外部通氣管道為 1/4”聚四氟管
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| 混氣罐 | Φ80X120mm |
| 截止閥及配 件 | 316 不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管 |
