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工業廢水處理用臭氧發生器采用電暈放電技術，工業、生活和醫院廢水中產生的臭氧幾乎全部用于工業生產。產生的臭氧可用于含烷基苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物廢水的初步處理，也可用于含Fe2+、Mn2+、苯酚、親水性染料、細菌廢水的初步處理。隨著水資源的日益短缺，工業和城市生活污水往往經過處理后再利用，因此有必要提高污水處理標準。通過臭氧深度處理，可以去除水中的各種雜質，達到回收標準。臭氧處理醫院污水可用于消毒滅菌。
用工業廢水處理用臭氧發生器處理醫院污水，可以切斷傳染源，解除后顧之憂。而且臭氧可以在幾分鐘內殺死所有病毒，比等效氯快200~3000倍。城市污水處理系統工程也開始使用大型臭氧發生器對生活污水進行滅菌除臭。在循環冷卻水和鍋爐給水中，需要對水進行深度處理，臭氧可以去除形成污垢的雜質，防止管道堵塞。要達到這個目的，當然首先要去除氨，否則去除氨會分解殘留的臭氧，不利于維持臭氧氧化效率。一般來說，殘余臭氧應保持在約0.5毫克/升，只有美國用臭氧處理循環冷卻水，而包括中國在內的其他國家還處于試驗階段。飲用水采用臭氧消毒滅菌時，沒有有害殘留物（如致癌的鹵代有機化合物的氯消毒），對于提高飲用水的消毒質量非常有效。
