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當前位置：> 供求商機> PLUTO-F-桌面式 等離子體材料表面處理系統
外部尺寸641*533*451mm （1341*533*451mm可選底
座）
真空腔尺寸材質6061-T6 鋁合金241mm*280mm*201mm
電極尺寸200mm *200mm，多控自適應平板電極
等離子體發
生器
頻率：13.56MHz；自動阻抗匹配電源
功率0-200W 連續可調，精度 1W 自適應功率匹配
0-500W連續可調，精度 1W自動阻抗匹配電源
0-750W 連續可調，精度 1W自動阻抗匹配電源
真空計 熱電偶真空計0-100KPa
供氣2 路氣體，精密針閥控制
控制方式4.3 寸觸摸屏，多級應用菜單，操控簡易快捷
選配件飛越VRD 油泵/萊寶/安捷倫DS 系列干泵
電源220V，10A
1. 桌面型，性能穩定、操作簡便、使用成本極低、易于維
護，高性價比。
2.小身材，有效處理面積大，可以輕松處理 8 寸硅片去膠等
應用。
3.氣浴電極，清洗效率高。
4.靈活的電極配置方案，最多可以處理2 片 8 寸硅片。
5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、
硅片、 塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。
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