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鐳射定位激光開封系統
是實驗室聯合英國GMATG公司推出的激光開封系統,針對半導體失效分析實驗室應用場景設計,根據不同材料對激光吸收特性的不同,選擇性刻蝕。采用定制的激光器、控制器,可適用高達99%的封裝材料,光斑質量好,壽命長,保證最佳匹配無損晶圓及線材的激光開封。開封參數可精確控制,確保線材無損、開封的后IC可以保留焊盤,將芯片及壓焊打線的情況清晰展現。同時取代機械開封、化學開封、傳統制模、機械切割研磨等z制樣工藝,大大降低開封成本,節省開封時間,提高開封良率。
激光開封系統主要構成:激光器、光路系統、工作臺、控制系統、定位系統、抽塵系統、CCD視覺系統、風冷和水冷系統等。采用自研發的控制軟件、直接導入CAD數據進行激光刻蝕,操作簡單。設備集數控技術、激光技術、軟件技術等光機電高技術于一體,具有高靈活性、高精度、高速度等*制樣技術的特征。適用于各種塑料封裝形式的IC開封,LED透明硅膠和環氧樹脂,為各種類型的半導體失效分析應用(如半導體器件開蓋和剖面)提供清晰,精確的測試樣品.
化學開封 VS 金鑒激光系統開封:
傳統的化學開封前期準備工具繁瑣、耗時不省心,大多開封化學試劑具有毒性、腐蝕性和揮發性,會刺激呼吸道,長期接觸容易誘發呼吸道疾病和皮炎,如果沾染皮膚會造成燒傷,嚴重者內臟器官受到傷害甚至休克,也有可能會影響到生育。
由于化學開封對人體危害較大,對于現代的很多員工來說,考慮到自身健康,不愿從事化學開放的工作,而激光開封安全無毒,環境友好,采用激光開封利于增加團隊的穩定性。而激光開封相比化學開封可以做到更加精密,線寬更窄,線間距更小,操作簡便,隨時都可以導入圖形或直接繪制圖形加工,不受限制,特別適合于實驗室階段。從穩定性、良品率、耗材、環保、綜合成本等多種因素考慮,激光開封的優勢也更加明顯。為此,鐳射定位激光開封系統,幫助客戶解決塑封器件開封的煩惱。
功能介紹:
1.自開發的軟件,鐳射定位系統,微米級精準逐層開封!
(1)鐳射定位系統,精準定位開封位置。
(2)可精確控制每一層激光掃描能量,每層移除厚度可控制在10~100 μm,精準定位開封區域,暴露引線框架,邦定線,基板,甚至直接無損開封至芯片的晶圓層。
(3)顯著節省后續工藝時間。
(4)電腦控制開封形狀、位置、大小、時間等,操作便利。
2. 配備風冷和水冷降溫系統,功率可調,大程度上減少激光對金屬材料的熱影響
(1)可開封高達99%的封裝材料,環氧樹脂,硅膠等。
(2)可適合各種硅膠、塑料封裝形式的IC開封,包括DIP、SOP、PDIP,PLCC,PQFP,SOIC,BGA以及COB去黑膠等。
(3)適用多芯片、多細線材塑封器件樣開封!
傳統化學開封方式對多芯片樣品束手無策,原因在于長時間的化學開封溶解膠體的同時,也會溶解芯片固晶層和焊線金屬,降低焊點結合力,導致在超聲波清洗后,焊線斷裂,芯片脫離,失去樣品原始原貌,無法分析。
同樣道理,對于細線塑封器件,化學開封極易損傷焊線金屬,而傳統的激光開封由于熱影響,較細的焊線很容易受到熱損傷,在超聲波清洗之后,發生焊線斷裂的現象。
(4)銅線產品的有效解決方案。由于銅線低廉的價格及性能方面的優勢,如今內引線為銅材質的塑封器件已經得到廣泛的應用,而銅卻容易與酸發生反應而被腐蝕,傳統的酸開封已經沒有辦法完成銅制成器件的開封,良率一般低于30%,激光開封機給分析產業帶來了新的技術。
(5)其大功率模式可清潔封裝材料中的大顆粒填充料
3. CCD視覺系統
(1)可視化觀察樣品,實時追蹤、顯示加工過程。
(2)數字化變焦設計,精確定位至單根鍵合線或單個鍵合點缺陷,精確定位剖面位置。
(3)通過視覺CCD控制系統,針對超微小尺寸,可實現精準定位,框選,分離,隔帶掃描,全/部分開封暴露邦定線,美清除線下樹脂殘留。
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