真空鍍膜機(jī)想來(lái)來(lái)大家都存有疑惑，今天來(lái)討論的是關(guān)于真空鍍膜設(shè)備真空室的設(shè)計(jì)問(wèn)題，要是您有興趣了解的話(huà)可以一起來(lái)看看下面的內(nèi)容。

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法，使物體表面獲取所需膜體，真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等，這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空鍍膜機(jī)的主要部件之一。鍍膜機(jī)真空室均配有各種元件，能夠滿(mǎn)足各種類(lèi)型的真空鍍膜的工藝要求。就像蒸發(fā)鍍膜機(jī)真空室內(nèi)置蒸發(fā)金屬的裝置的話(huà)，便能完成金屬薄膜的蒸鍍工藝。盡管鍍膜機(jī)真空室的可能適配的工藝不同，但基本上它的組成離不開(kāi)氣缸、封頭、法蘭、管道、門(mén)、水冷等結(jié)構(gòu)。

真空室是真空設(shè)備的一個(gè)主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性，結(jié)構(gòu)須要合理，真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，材料對(duì)真空度的影響要小，設(shè)計(jì)不能馬虎，要注意一些問(wèn)題。

（一）焊接要求

根據(jù)需要，在該設(shè)備真空室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上也有所差別，常見(jiàn)有圓柱形、圓錐形、盒形等結(jié)構(gòu)。對(duì)于我們的鍍膜機(jī)真空室的焊接技術(shù)上，要求有基本五點(diǎn)：

為了防止鍍膜機(jī)的外殼變形，真空室的非氣密焊接一般用間斷焊。

焊縫的總長(zhǎng)度盡量短些，高度要大于真空室殼體的三分之一厚度，才能避免一些漏氣的可能。

焊縫要便于做真空檢漏工作。

盡量別在焊縫上開(kāi)孔。

焊縫與焊縫間別存在交叉，兩縫的中心線位置間應(yīng)大于10cm的距離。

（二）主體材料

鍍膜機(jī)真空室通常以金屬軋制板材作為主要材料制作，作為真空室的主體材料要求可焊性、氣密性要求比較高。對(duì)于一般的鍍膜機(jī)真空室使用的主體材料通常是低碳鋼、合金鋼、鋁和銅之類(lèi)的金屬或合金。而不銹鋼則一般用于需要高真空、耐腐蝕的工藝的型號(hào)中。

（三）封頭類(lèi)型

作為鍍膜機(jī)真空室的一個(gè)重要零件——封頭，可與筒體焊接組成一個(gè)整體。真空鍍膜設(shè)備的封頭形式有球形、錐形、凸形、平蓋形等封頭類(lèi)型。

（四）門(mén)的設(shè)計(jì)

為了便于設(shè)備的處理操作、方便各種機(jī)構(gòu)在房間內(nèi)的安裝、取送材料等，在蒸發(fā)鍍膜機(jī)真空室裝設(shè)了門(mén)。作為可動(dòng)件的門(mén)，常見(jiàn)的形式有凸形、球形、平蓋形，等等。鍍膜機(jī)真空室的門(mén)通常由密封門(mén)板、門(mén)鏈、法蘭、密封圈等結(jié)構(gòu)組成。根據(jù)鍍膜機(jī)真空室外殼的結(jié)構(gòu)，其門(mén)板有凸面、平面兩種，形狀上有圓形、矩形之分。 矩形門(mén)的密封槽加工相對(duì)于圓形門(mén)來(lái)說(shuō)比較不方便，所以一般適用在一些小型的真空鍍膜設(shè)備中。法蘭要做焊后精加工處理，才能避免法蘭變形而影響到設(shè)備的整體密封性能。

門(mén)的開(kāi)關(guān)可選配手動(dòng)、自動(dòng)的形式。通常的真空室都有夾緊系統(tǒng)，夾緊系統(tǒng)有偏心夾緊系統(tǒng)、絲桿螺母系統(tǒng)等類(lèi)別。夾緊系統(tǒng)施加于密封圈以“預(yù)緊力”。但如果鍍膜機(jī)真空室是鐘罩型的話(huà)，就不需要有夾緊系統(tǒng)，因?yàn)樗旧淼闹亓烤涂梢越o密封圈足夠的預(yù)緊力。在抽氣真空之后的大氣壓作用于密封圈，其密封性就更有保障了。

尺寸較大的鍍膜機(jī)真空室門(mén)受大氣環(huán)境壓力的影響更大，其密封圈更容易被損壞。比方說(shuō)一個(gè)直徑為兩米的圓形門(mén)，它承受約為3 X 10N的作用力。所以對(duì)于密封槽的設(shè)計(jì)，應(yīng)該避免密封圈受力過(guò)大。注意密封槽截面積要大于密封圈截面積，且密封圈結(jié)構(gòu)變形允許在30％的范圍。

（五）水冷設(shè)計(jì)

鍍膜機(jī)真空室上通常均設(shè)有水冷系統(tǒng)。由于一個(gè)鍍膜機(jī)真空室有時(shí)會(huì)有較長(zhǎng)時(shí)間處于一種高溫狀態(tài)下進(jìn)行持續(xù)工作，為了可以防止設(shè)備殼體變形和保證真空密封性而設(shè)立。水冷系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式有兩種：一種是在真空室外壁裝配冷卻水套，另一種是將水管進(jìn)行螺旋式地焊接在真空室的外壁上。

具體要選擇哪種水冷系統(tǒng)，還得取決于設(shè)備的具體使用條件。如考慮焊縫修復(fù)方便性、觀察方便性、工作真空高低程度、加熱溫度差異、設(shè)備結(jié)構(gòu)差異之類(lèi)的問(wèn)題。在蒸發(fā)鍍膜機(jī)真空室的熱負(fù)載量較小時(shí)用水管冷卻系統(tǒng)、熱負(fù)載量較大時(shí)則用冷卻水套系統(tǒng)來(lái)降溫，也可以?xún)煞N不同形式的水冷系統(tǒng)一起使用。

目前的真空鍍膜機(jī)真空室的殼體形式以圓筒形居多，主要是因?yàn)槠渲圃旄?jiǎn)單，而且強(qiáng)度也不錯(cuò)。真空室的制造除了主要的整體板材之外，對(duì)于一些尺寸較小的筒體型真空室來(lái)說(shuō)，它亦可用一種熱軋的無(wú)縫鋼管作為主體材料打造。在真空室焊制完成后，要做好矯直和整形工作，再根據(jù)用戶(hù)具體需求來(lái)做成立式、臥式等形式的鍍膜機(jī)真空室。