真空泵油能迅速將油液中夾帶的水分分離出來，達到所需的真空度。具較底的蒸汽壓，防止油品從泵的內腔向真空系統返流擴散造成返油。從而保證有足夠的極限真空。具有的氧化穩定性，長期在高溫條件下與空氣、樹脂、化學原料等直接接觸亦不易變質，減少有害漆膜和油垢的形成，提供較長的換油周期。真空泵油具有優異的防銹防腐蝕性，能在金屬表面形成非常有效的防腐膜，從而可以全面防止因吸入腐蝕性氣體和水分而導致的系統腐蝕。

真空泵油抗乳化度，真空泵在運轉過程中，系統內水分及冷氣體會排入泵油中，油及水會形成乳濁液，不僅影響泵油運用壽命也使極限壓力變壞。尤其對醫藥，食品，陶瓷等工業應用真空干燥過程中，泵油抗乳化性能更到關顯要。抗乳化性好泵油油水分離能力強，水蒸汽與冷凝氣體通過開氣鎮閥，會排出部分水蒸汽。另外，低粘度泵油抗乳化能力比高粘度油要好。加劑泵油比不加劑泵油效果更為明顯。抗泡性，運轉中真空系統內氣體會通過密封真空泵油層不斷排出，排出氣體會在油層表面產生大量氣泡，并從泵排氣孔中溢出，造成油品損失與設備污染。加防抗泡劑泵油，在抗泡效果上有明顯提升。

 氧化安定性，天然礦物油均有其不可避免漏洞，耐熱抗氧化性能要比合成油差，泵油成份隨熱氧化分解極易劣化，極限壓力穩定性差，抽速也隨運用時間下降。但加劑氧化安定性較純礦物油有明顯提升，普通純礦物油氧化試驗法d943為幾百小時左右，而加劑d943可增加到1500小時對上。可見其運用壽命得到增加。

真空泵油是一種專門為真空設備上的真空泵而研制的特種潤滑油，分礦物油和合成油兩種。真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。各個泵油牌號是根據泵種類，轉速，抽速，運動間隙，極限全壓力與極限分壓力條件而制訂（見表）。粘度指數高泵油其粘度及溫度的間變化較少。真空泵在運轉過程中，系統內水分及冷氣體會排入泵油中，油及水會形成乳濁液，不僅影響泵油運用壽命也使極限壓力變壞。