Sievers專門為微電子應用設計了兩款TOC分析儀 — Sievers® M9e和M500e。雖然這兩款分析儀有著相似的低濃度測量性能，但Sievers M9e使用酸劑和氧化劑，因而能測量2.5 ppm（2.5 ppm是Sievers M500e的測量上限）以上的TOC值，還能測量高IC值，或測量pH不是中性的水樣。酸劑和氧化劑會向樣品中引入痕量有機物，本文稍后介紹對此的空白校正程序。如果不是特別需要使用酸劑和氧化劑，我們建議您在應用中使用Sievers M500e分析儀。
Sievers M500e有兩種配置可供選擇 —“集成在線取樣器（iOS，Integrated On-line Sampler）"和“不銹鋼取樣塊（Stainless Steel Sample Block）"。iOS可以進行在線測量，并能在不切斷樣品連接的情況下將吸樣樣品或參考標樣送入分析儀，非常便捷。iOS對校準和確認校準特別有用。
由于后面提到的原因，對于測量低ppb和亞ppb的TOC分析儀來說，傳統的校準意義不大。因此，我們建議在低ppb和亞ppb應用中使用配置不銹鋼取樣塊的Sievers M500e。取樣塊不僅能降低儀器成本，而且能形成更適合低ppb和亞ppb應用的封閉式取樣系統。
影響分析儀校準的兩個因素是“增益（gain）"和“偏移（offset）"。“增益"影響校準曲線的斜率，“偏移"影響校準曲線通過零點的位置。這兩種因素對儀器分析性能的影響力的大小取決于超純水系統的TOC濃度和分析儀的測量范圍之間的關系。超純水系統的TOC濃度越接近分析儀的檢測限（或接近于零），自動歸零在優化分析儀性能時所起的作用就越大，而校準的作用就越小（見圖1）。
圖1：TOC校準
可以用低ppb或亞ppb TOC校準標樣
來校準要測量的范圍嗎？
用于制備校準標樣的樣瓶，即便經過嚴格的清潔，認證的TOC都僅低于10 ppb，因此無法用于制備亞ppb校準標樣。此外，樣瓶和校準標樣的制備過程會給標樣帶來TOC誤差（通常會增加幾個ppb的TOC），因此校準標樣僅在稱重誤差和測量誤差可以忽略不計的幾百ppb以上的范圍有效。當分析儀在校準點附近工作時，調整上述濃度（如1 ppm校準）下的校準（增益）會對報告結果的準確性產生正面影響，但當分析儀在低于校準點幾個數量級的濃度（接近于零）下工作時，調整校準就對報告結果的影響非常小。
從圖1中可以看出，將校準曲線移至最壞情況的校準上限或下限，對亞ppb下的儀器響應沒有影響。
在低濃度下，改變零點或“偏移"對儀器性能的影響最大，最能保證測量的可靠性，最有利于“儀器到儀器"的一致性（見圖2）。
圖2：TOC自動歸零
Sievers M9e和M500e用自動歸零（Auto-Zero）來確保分析儀在沒有TOC的情況下報告為零。分析儀的手冊對自動歸零有詳細的說明。自動歸零非常有用，能夠幫助優化分析儀的低TOC測量性能，并有利于達到“儀器到儀器"的一致性。
在漂洗新安裝的分析儀或進行維護工作時，分析儀的零點都會受影響。水系統的特性（例如水系統中的無機碳含量）也會對零點產生較小影響。因此，我們建議進行以下自動歸零過程，以保持分析儀的最佳性能：
在安裝新分析儀后的漂洗期間，應每天運行自動歸零，運行一周左右。在第一周之后到第一個月結束前，每周運行一次自動歸零。在第一個月之后，每月運行一次自動歸零，并保持此運行頻率，因為預計以后不會有明顯變化。
在進行日常維護（包括更換紫外燈、樣品管、去離子樹脂盒等）之后，應漂洗分析儀一整天，然后進行自動歸零。此時無需進行校準。如果此時進行校準，校準雖沒有壞處，但也沒有好處，還會延長預防性維護后（post-PM，post-Preventative Maintenance）的漂洗時間，因為系統需要時間從接觸ppm濃度的校準標樣后恢復過來。在進行初次預防性維護后的自動歸零之后，可以在一周后重復運行自動歸零程序，然后恢復到典型的每月自動歸零常規操作。
如果將分析儀移動到新位置，應在讀數穩定后運行自動歸零。與日常維護一樣，可以在一周后再次運行自動歸零，然后恢復典型的每月自動歸零常規操作。
如果進行了重要的維修工作（即更換主要部件），應在維修后進行校準，以確保分析儀的基本性能不變。對于配置了不銹鋼取樣塊的分析儀，可以臨時安裝iOS以便進行校準。Sievers維修技術人員都經過培訓，具備執行此項服務的能力。
Sievers M9e和M500e也具有電導率自動歸零功能。TC和IC通道的溫度和電導池只接觸到含有少量CO2的去離子水，因而無需針對電導率的增加而進行校準。隨著時間推移，當離子污染物從電導池浸出時，電導池的偏移就會發生變化。電導率自動歸零校準任務能夠調整TC和IC池的偏移。
與TOC自動歸零不同，電導率自動歸零無需經常進行。我們建議在診斷負TOC值時運行電導率自動歸零。只可由技術支持或現場服務工程師來運行電導率自動歸零。
不使用試劑的Sievers M500e專用于測量亞ppb級的TOC值。Sievers M9e常用于高TOC應用，包括需要添加氧化劑來測量ppm級的TOC應用，或需要酸化樣品和去除IC的高濃度無機碳的系統監測。在有些應用中，樣品的TOC很低，但電導率或IC很高，這時就需要使用Sievers M9e的功能來進行理想的TOC測量。
超純水應用無需使用氧化劑，本文討論的操作程序只適用于酸劑。Sievers M9e使用電子級酸劑，但電子級酸劑也會向樣品中引入痕量的有機污染物，這些有機物對低濃度讀數的影響雖小，但仍不可忽視。Sievers M9e（固件1.06及更高版本）帶有自動酸劑空白（Reagent Blank）程序，能測量酸劑實際產生的有機污染物的量，并根據所選流量來應用偏移量，從而將有機污染物從報告的TOC值中扣除。
各個酸劑盒所產生的痕量有機污染物稍有不同，每次在安裝新酸劑盒后，都需要運行試劑空白程序。
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