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INFICON CrystalSix 晶體對于要求連續監控速率的長時間過程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監控器晶體,為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。
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更新時間:2019-05-15 14:57:12瀏覽次數:422
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晶體更換是自動完成的,不會中斷您的過程,支持持續監控沉積速率 晶體索引通過氣動機制完成 相比同類裝置使用的昂貴的真空發熱電機,這種氣動馬達可提供更好的晶體熱穩定性 一個 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩定性,并提供晶體位置的靈活性 與某些 INFICON 薄膜控制器結合使用時,傳感器提供位置反饋,因此可針對特定的材料安排特定的位置