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INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平（QCM）測量的可重復性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 （ALD）。ALD 傳感器可承受高達 450ºC 的高溫，
產品簡介
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饋入件和饋入件連接 INFICON ALD 傳感器可采用自定義焊接長度,也可采用長度可調的壓縮接頭而無需銅焊或焊接 所有配置都使用 2 in.(CF40) ConFlat 法蘭饋入件 高溫晶體實現更準確的測量 與 INFICON 的新型高溫石英晶體結合使用時,INFICON ALD 傳感器可在高溫應用中達到佳測量精度和較低的頻率噪聲 這些高溫晶體針對 120 240 和 285 C 應用進行了優化,因此您總能獲得適合自己應用的正確晶體 也可提供針對其他溫度優化過的晶體 請根據自己的需求聯系 INFICON