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詳細介紹
二手日本電子SEM+EDX主要特長
優秀電子光學系統 JSM-IT300A是株式會社最新升級版機型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結構緊湊、節省空間，分辨率高。
操作舒適快捷 JSM-IT300A擁有非常直觀的操作系統，即使沒有經驗的用戶也可進行操作高品質的SEM圖像，以及高效率元素分析。可支持操作觸摸屏。
安裝的靈活性 二手日本電子SEM+EDX節省空間，安裝方便。一個電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。
JSM-IT300A性能參數
Main Performance on JSM-IT200A
Performance (一) 主要性能 | |
SEI Mode Resolution 二次電子圖像分辨率 | 3.0nm @ 30KV WD 8mm 8.0nm @ 3KV WD 6mm 15.0nm @ 1KV WD 6mm |
BEI Mode Resolution 背散射電子模式分辨率 | 4.0nm@30KV |
Magnification 放大倍數 | ×5~×300,000（底片倍率） ×14~×839,724（顯示器倍率） |
Detectors 探測器 | Secondary Electron Detector 二次電子探測器 ★Semiconductor Backscattered Electron Detector(patent) 半導體型背散射電子探測器(技術) |
Image Mode 圖像模式 | Secondary Electron Image 二次電子圖像 REF Image REF像 Composition Image (Backscattered Electron Image) 成份像 (背散射電子圖像) Topography Image (Backscattered Electron Image) 形貌像 (背散射電子圖像) Shadow Image (Backscattered Electron Image) 立體像 (背散射電子圖像) |
Live Image Display 實時圖像顯示 | Dual Live Image Display, Split Live Image, 雙實時圖像同時顯示, 分割實時圖像顯示 |
Accelerating Voltage 加速電壓 | 0.5KV ~ 30KV |
Probe Current 探針束流 | 1pA ~ 0.3uA |
Electron Optics (二) 電子光學系統 | |
Filament 燈絲 | Factory pre-centered tungsten hairpin filament 工廠預對中鎢燈絲 |
★Gun Bias Voltage 電子槍偏壓 | Seamless automatic bias 無縫式自給偏壓, 連續調整 |
Gun Alignment 電子槍合軸 | Auto alignment 自動合軸 |
Filament Heating 燈絲加熱 | Auto heating 自動加熱 |
★Condenser Lens 聚光透鏡 | Two stage zoom type condenser lens – (patent) 變焦聚光透鏡系統 – 技術 |
★Objective Lens 物鏡 | Super conical type objective lens 超級錐形物鏡 |
Objective Lens Aperture 物鏡光闌 | 1 step, Fine position adjustment in X and Y directions 1孔固定，可在X和Y方向微調 |
Focus 聚焦 | Auto/Manual focus 自動/手動聚焦 |
Stigmator 像散 | Auto/Manual stigmator 自動/手動消像散 |
★Stigmator Memory 像散存儲器 | Standard, Auto/Manual 標準配置，自動/手動補償像散 |
★Electrical Image Shift 圖像移動 | X-Y , ±50um |
Specimen Stage (三) 樣品臺 | |
Type 樣品臺類型 | Eucentric type stage 全對中樣品臺 |
Traverse 行程 | X : 80mm; Y : 40mm; Z : 5 ~ 48mm; 傾斜 T: -10 ~ +90° 旋轉 R: 360°連續endless |
Maximum Specimen Size 最大樣品尺寸 | 150mm diameter & 48mm height specimen can be inserted 可裝直徑150mm高度為48mm的樣品 |
Maximum Size of Observation 最大觀察視野 | 127mm diameter 直徑127mm |
Image Display (四) 圖形顯示 | |
Pixels 顯示像素 | 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840 |
Image Process 圖像處理 | Averaging, Linear, Contrast, Gamma, Multi level, Patial enhance, Reverse, Pseudo color, Multi image 平均值, 灰度修正, 反差增強, 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數碼變焦 |
高品質的圖像
通過改進電子光學系統，使圖像質量更高，分析更快。
減少了充放電現象
新的掃描方式能抑制非導電性樣品的荷電效應。
低真空模式(LV)
低真空壓力范圍從10 Pa 至 650 Pa，拓寬了可以觀察的樣品材料的范圍。
樣品臺導航系統
全自動5 軸馬達驅動樣品臺提高了尋找感興趣的區域（ROI）的速度。使用導航系統（選配件）在彩色圖像上能迅速到達感興趣的區域。
大型樣品室和樣品臺。
能容納大型、較重的樣品，可裝載**尺寸為200 mm（φ）× 80 mm（ H）、重達2 kg 的樣品。
**幾何設計的分析接口。
多個接口可以安裝EDS、EBSD 和WDS 等附件， EDS 和EBSD 處于同一平面，此外，還能安裝兩個相隔180 度的EDS 檢測器用于高通量的顯微分析。
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