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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>其它專用儀器> NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕

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NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地 美國
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/11/13 10:51:43
  • 訪問次數 1757

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那諾中國有限公司專注于為大中華區域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀,包含飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)、質子轉移反應(PTR)質譜儀、電子轟擊電離(EI)質譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質譜儀(TOF-SIMS)

產地類別 進口 應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,電子,制藥

IBM離子銑

NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕產品概述:利用離子束轟擊固體表面的濺射作用,剝離加工各種幾何圖形,通過大面積離子源產生的離子束,可對固體材料濺射刻蝕,對固體器件進行微細加工。該系統為全自動上下載片,計算機全自動控制的系統。

NANO-MASTER技術已經證明了可以把基片溫度控制在50° C以內的同時,旋轉晶圓片以達到想要的均勻度。

NIM-4000(A)全自動離子銑刻蝕產品特點:

  • 14.5”不銹鋼立體離子束腔體
  • 16cm DC離子槍1200eV,650mA, 氣動不銹鋼遮板
  • 離子束中和器
  • 氬氣MFC
  • 6”水冷樣品臺
  • 晶片旋轉速度310RPM,真空步進電機
  • 步進電機控制晶圓片傾斜
  • 自動上下載晶圓片
  • 典型刻蝕速率:銅200 ?/min, 硅:500 ?/min
  • 6”范圍內,刻蝕均勻度+/-3%
  • 極限真空5x10-7Torr20分鐘內可達到10-6Torr級別(配套500 l/s渦輪分子泵)
  • 配套1000 l/s渦輪分子泵,極限真空可達8x10-8Torr
  • 磁控濺射Si3N4以保護被刻蝕金屬表面被氧化
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 菜單驅動,4級密碼訪問保護
  • 完整的安全聯鎖

 



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